国际能源新变局,煤市淡季调整有限

2026-06-27 10:11:09 - 热点

卡瓦拉斯卡合并至圣费尔莫-德拉巴塔利亚市镇。卡瓦ISTAT代码为013061。卡瓦总面积2平方公里,卡瓦 参考 外部链接 倫巴第大區地理卡瓦

卡瓦拉斯卡(),卡瓦人口2932人,卡瓦 2017年1月1日,卡瓦人口密度1466.0人/平方公里(2009年)。卡瓦曾是卡瓦意大利科莫省的一个市镇。

国际能源新变局,煤市淡季调整有限

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最适合冬天的猪肉炖粉条 超简单猪肉炖粉条做法教程

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泉州鲤城区旧繁荣路改造 通行状况改善

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改造前道路破损严重

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改造提升后道路平坦

据了解,项目于今年1月开工,为最大限度减少施工对周边居民及交通的影响,施工方采取“封一半、修一半”的分段作业模式,以保障居民群众基本出行。

“以前中间是路,两边是水沟,路又窄,一到雨天,雨水就漫过路面,特别容易滑倒。”东边社区党委书记、居委会主任吴耿城介绍,“现在管道铺在地下,路面加宽了,居民看了都竖起大拇指。”

目前,泉州往南安方向东边段已建成通车,南安往泉州方向东边段计划于本月底启动建设,待全部完工后,周边居民的出行体验将彻底改善。(融媒体记者 廖培煌 杜婉琼 通讯员 赖良德 文/图)

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珠海市新闻中心处置报废资产公告

为了盘活资产,提高资产使用率,根据行政事业单位资产管理相关规定,珠海市新闻中心拟对一批报废资产处置进行公开竞价,欢迎符合资格条件的公司报名,有关事项公告如下:

一、标的物

主要是广播电视、电脑、打印机、电视机等设备。

二、评估价格

新闻中心处置报废资产424项,评估价9249元(人民币玖仟贰佰肆拾玖元整)

三、存放地点

存放在印务公司。

四、竞价要求

参与竞价单位资格要求:参与竞价单位须有再生资源回收经营备案登记证明;具有良好的商业信誉;本项目不允许分包、转包,不接受联合体竞价。

五、成交方式

1.由珠海市新闻中心组织开标,现场查验密封报名文件后统一拆封,核验报价单位资质及报价金额,符合资产回收资质的意向单位进行竞价,采取报价最高的原则成交。

2.若最高报价超过一家的,采用现场抽签方式确定中标人(抽取大号为成交人)。

3.低于竞价底价视为无效报价;少于三家有效报价则本次竞价无效。

六、查勘时间

1.地点:印务公司。

2.时间:2025年10月13日,上午9:30至12:00。

3.联系人:李先生联系电话:13809803093

4.已参与现场查勘的竞价单位须签署《现场查勘确认书》(见附件),并作为竞价文件附件提交。未进行现场查勘者不得参与竞价。

七、竞价

(1)竞价需提交文件:现场查勘确认书(原件)、竞价文件(见附件)、公司营业执照复印件、再生资源回收经营备案登记证明复印件、法定代表人身份证复印件(委托代理人参加的,须提供代理人身份证复印件和法定

代表人授权委托书原件)。以上文件均须加盖公章,文件袋密封后进行递交,可邮寄或现场提交(地址:珠海市香洲区银桦路566号报业大厦14楼1402房,李生收)。

(2)竞价文件提交时间:2025年10月15日16时00分(节假日除外)结束,逾期不予受理。

八、付款方式

竞得人应在合同签订生效之日起1个工作日内一次性支付全部价款。

九、其他事项

1.本批次报废资产,都是设备陈旧,已损坏无使用资产。按其现场展示状态进行转让和交接,以竞得人竞价前实地查勘为移交依据,说明及相关资料均是对资产所作的参考性说明,不作为对资产品质和数量的任何担保,也不作为资产现状的法律依据和资产移交的凭据。竞买人办理报名手续视同竞买人已进行现场踏勘并接受该批资产现状。

2.资产所存在的任何风险由竞得人自行判断和承担。竞得人不得以因无法避免的客观原因造成的瑕疵为由拒绝接收资产。

3.竞得人在《成交通知书》发出之日起1个工作日内,向珠海市新闻中心指定账户缴纳2000元作为履约保证金,履行合同完毕后予以无息退还。若未能按期缴纳履约保证金,则视作竞得人弃标处理,珠海市新闻中心将按报价从高至低重新确定竞得人。

4.《成交通知书》发出之日起1个工作日内,竞得人与市新闻中心签订《资产处置转让合同》并完成付款,款项经确认后方可进行搬运等处置工作。处置工作须在付款后5个工作日内完成。逾期办理相关手续作竞得人弃标处理,履约保证金不予退还,珠海市新闻中心有权对该标另行处置。

5.按合同约定期限完成资产回收及现场清理。竞得人自行负责安全拆卸、安全运输、场地垃圾清理等后续工作,承担一切安全责任。搬运过程中所产生的人工费、运输费、垃圾清理费等各种费用全部由竞得人承担。

6.搬运过程中不得损坏本单位电梯等设施,出现损坏的,要进行赔偿。由于工作时间,电梯比较繁忙,搬运磁带时建议非工作时间搬运。

附件:

1.现场查勘确认书

2.竞价文件

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珠海市新闻中心

2025年9月28日

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筑牢安全防线 守护夕阳温暖

  10月19日上午,合肥市上派镇儒阳康复护理院内,一场以“守护‘夕阳红’”为主题的消防安全宣传活动温暖展开。来自合肥市消防救援局的消防员们走进护理院,通过面对面的讲解、手把手的教学,为这里的老年人和工作人员带来了一堂生动实用的消防安全课。

  活动现场,气氛温馨而有序。护理院的活动室内,老人们在家属和工作人员的陪伴下,聚精会神地聆听着消防员的讲解。消防员针对老年人特点,用通俗易懂的语言,深入浅出地向大家讲解了火灾的严重危害性、常见的火灾隐患以及火场中如何疏散逃生等基本消防常识,强调了“防患于未然”的重要性。

  “提起灭火器,拔掉保险销,握住喷管,对准火焰根部,压下压把……”在消防产品使用讲解环节,消防员现场展示了灭火器、消防水带等常见消防器材,并一步步拆解动作,细致讲解其使用方法、适用范围和注意事项。消防员还特别强调了养老机构落实消防安全主体责任的重要性,叮嘱工作人员务必加强日常防火巡查检查,确保消防设施完好有效,时刻保持“生命通道”畅通。

  除了现场宣讲和演示,消防员们还向护理院及在场的社区居民发放了图文并茂的消防安全知识手册和宣传单页。“消防员讲得很清楚,也很耐心,我们年纪大了,记性不好,但他们举案例,动手演示,还反复讲,这下印象深多了!”一位参与活动的老人感慨道。

  “这样的活动太有意义了!”护理院工作人员表示,“消防员们讲得细致,演示得清楚,不仅增强了大家的防火意识,更提升了我们工作人员安全管理水平和应急处置能力。我们将把学到的知识运用到日常管理中,定期开展自查自改,把火灾隐患消除在萌芽状态。”(邵晓杰/文 薛文茹/摄)

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2023合肥农交会来了!

  中安在线、中安新闻客户端讯 想足不出皖遍尝全国美食,逛合肥农交会肯定是首选。10月13日至15日,安徽最具人气的展会——中国安徽名优农产品暨农业产业化交易会(2023·合肥)将在合肥滨湖国际会展中心举办,安徽人民足不出皖,就可以买遍全国好农货。

  本届农交会,报名参展参会客商2万多人、参展产品3万多种,展厅总面积约11.5万平方米,如此大的面积,想要惬意“逛吃”,快查收这份指南。

  今年合肥农交会展区内设置了科技强农馆、机械强农馆、美丽乡村馆等展厅。展厅充分运用高科技手段将农业、科技与地方特色深度融合,营造沉浸式氛围。

  其中,安徽农业农村发展成就展厅,安排在登录大厅与主展馆之间。展示党的十八大以来安徽农业农村发展取得的成就。

  安徽省16个地市展厅,安排在主展馆。16个地市划分为16单元,按各市农产品加工产值情况,结合各市产业特点进行安排,展示各地名特优农产品。

  预制菜展馆,安排在综合(2号)馆。通过市场化运作方式,展示展销全国预制菜最新成果。

  农业机械馆,安排在3号馆、4号馆。展示各类农业生产机械。

  金融展区、特色农产品展示直播专区,安排在4号馆。展示金融创新产品、开展对接活动;邀请网络达人,在场馆设置特色农产品展示和直播专区。

  科技创新馆,安排在5号馆。展示和宣传推介省各产业技术体系最新成果。

  和美乡村馆,安排在6号馆。16个市分别展示乡村休闲旅游与农耕文化、美丽乡村建设成果。

  新农人馆,安排在7号馆。包含合作社和家庭农场展区、农业农村领域能工巧匠暨创新创业展区,以及数字乡村、智慧农业展区。

  省外馆,安排在8号馆。包含国家级重点龙头企业展区、台湾展区、境外展区、农垦展区、团省委展区、食用菌展区、天邦集团展区等。

  农业生产资料馆,安排在9号馆。展示推介种子、化肥、农药等农业生产资料等,本展区汇集了全球农药企业销售额前十名中的先正达、拜耳、富美实、科迪华,以及久易农业、众邦生物、华星化工、星宇化学、丰乐农化、辉隆集团银山药业、蓝田农业等近百家优秀农资企业。

  合肥农交会展览展示板块将从10月13日下午2点后正式对外开放。前来参观的观众请按图示10号、1号、3号、5号、6号五个出入口进入,并持入场二维码配合检录、安检处工作人员检录后入场。

  需要提醒逛展市民的是,在畅快“买买买”的同时,一定要提防各类“展虫”。什么是“展虫”呢?没有正规资质,利用展会时间短、现场人员混杂等特点,长期在各大展会期间向消费者兜售产品的群体,行业称之为“展虫”。他们兜售的大都为假冒伪劣产品。

  “展虫”利用展会的影响力、展期人群集中、会后人去场空等特点,以突击销售为目标,混入展区内大肆销售商品,扰乱会场秩序、既损害了场馆及展会的形象,也严重侵害了广大消费者的权益。

  如果您看到挂羊头卖狗肉,兜售的商品与所在展区主题不符,那就是“展虫”,例如茶叶展位卖零食、洗衣液等产品。

  还有些“展虫”是打游击战的“售卖高手”,要是在展馆内非展示区,如走道、公共休息区等,看到拉着行李箱、小拖车兜售商品的人,您可能就是遇到“展虫”了。还有一些“展虫”商品数量较多,超出了作为样品的用途,如果您看到展位上的样品堆积如山,那就是“展虫”把商品都作所谓的样品处理了。

  “展虫”很多时候会在展会最后一天展商撤展时出没,占据空展位售卖,没有空展位也会用后备箱售卖。常见“展虫”销售的产品包括纺织品、服装、鞋帽、皮带、箱包小家电、食品和所谓“珠宝首饰”等。请自觉抵制“展虫”,维护良好的展会营商环境,打造安全舒心的逛展氛围。(记者 彭旖旎)

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MOSFET热载流子效应退化测试解析

前言

在现代ULSI电路中沟道热载流子 (CHC) 诱导的退化是一个重要的与可靠性相关的问题。载流子在通过MOSFET通道的大电场加速时获得动能。当大多数载流子到达漏极时,热载流子(动能非常高的载流子)由于原子能级碰撞的冲击电离,可以在漏极附近产生电子—空穴对。其他的可以注入栅极通道界面,打破Si-H键,增加界面态密度。CHC的影响是器件参数的时间相关的退化,如VT、IDLIN和IDSAT。

这种通道热载流子诱导的退化(也称为HCI或热载流子注入)在NMOS和PMOS器件上都可以看到,并会影响所有区域的器件参数,如VT、亚阈值斜率、Id-on、Id-off、Ig等。每个参数随应力时间的退化速率取决于器件的布局和所使用的工艺。

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图1. 通道热载流子退化

CHC退化测试的过程

一个典型的通道热载流子测试过程包括一个被测试器件(DUT)的初始化表征,然后是一个应力和测量循环[1](图2)。在这个循环中,器件承受的电压高于正常工作电压的压力。器件参数包括IDLIN、IDSAT、VT、Gm等,在应力之间进行监测,并将这些参数的退化绘制为累积应力时间的函数。在进行此应力和测量循环之前,将测量同一组器件参数作为基线值。

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图2. 典型的CHC测试过程

应力条件是基于最坏情况下的退化条件,这对于NMOS和PMOSFET是不同的。通常,对于漏极电压应力,它应小于源极漏极击穿电压的90%。然后,在漏极应力电压下,栅极应力电压因晶体管类型和栅极长度而不同。表1显示了使用不同技术[2]创建的NMOS和PMOSFET的最坏情况退化条件。

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表1. NMOS和PMOS FETs的最坏情况应力条件

使用4200A-SCS半导体表征系统上的ITM可以很容易地确定最坏情况下的应力条件。

器件连接

在单个晶体管上执行CHC测试很容易。然而,每个CHC测试通常需要很长时间才能完成,所以希望有许多dut并行施加压力,然后在应力之间按顺序进行表征,以节省时间。为了实现这一点,需要一个开关矩阵来处理并行应力和应力之间的顺序测量。图3显示了针对多个DUT的典CHC测试的硬件配置。4200A-SCS提供了应力电压和测量能力,而开关矩阵支持并行应力和多个器件的顺序测量。

根据被测试器件的数量,使用可容纳一个矩阵开关(12个器件引脚)的708主机,或者使用最多6个矩阵开关(最多72个引脚)的707主机。不同栅极和漏极应力值的总数受到系统中SMU数量的限制。图4说明了使用8个SMU(总共8个不同的漏极和栅极应力偏差)加上一个接地单元(接地端子)并联20个晶体管对器件进行压力测试的连接图。

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图3. 硬件配置连线图

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图4. 使用8个SMU并行施加压力20个器件的示例。公共端子使用单独的接地单元(GNDU)。

确定器件参数

被监测的热载流子参数包括VTH、GM、IDLIN和 IDSAT。这些参数在应力之前首先测量,并在每个累积应力时间后重新测量。IDLIN是器件在线性区域测量漏极电流,而IDSAT是器件在饱和区域测量漏极电流。VTH和GM可以用恒流法或内插 / 外插法来确定。在内插 / 外插法中,VTH是由IDS- VDS曲线的最大斜率来确定。

4200A-SCS的公式编辑器工具大大简化了这些参数的提取。内置函数包括微分获得GM,MAX函数获得最大的GM(Gmext),以及最小二乘线拟合函数提取 VTH(Vtext)。计算这些参数的公式可以在4200A-SCS提供的HCI项目中找到,并在测试库中的相应的测试中找到。这些公式的一些例子包括:

GM = DIFF(DRAINI,GATEV)

GMEXT = MAX(GM)

VTEXT = TANFITXINT(GATEV,DRAINI,MAXPOS(GM))

最后一个公式(VTEXT)是ID-VG曲线在最大GM点处的切线拟合的x截距。图5说明了公式编辑器的界面。

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图5. 4200A-SCS的公式编辑器界面

一旦这些参数从各个测试中计算出来,它们就可以通过选中“输出值”选项中的复选框来导出,以监测应力时间的退化。对于每个测试,都可以选择退出选项,允许系统跳过该器件,或者在器件出现故障时停止整个CHC测试。有关这些选项的更多详细信息,请参阅完整的4200A-SCS参考手册。

设置应力条件

在4200A-SCS软件的吉时利Clarius版本中增强的功能之一是项目树结构中可以增加一个应力循环,可以施加电压和电流应力。用户可以利用应力循环在预设时间上设置直流应力。每个周期的应力时间可以以线性或对数的方式进行设置(见图6)。该特性用于 CHC/HCI、NBTI、EM(电迁移率)和电荷捕获应用,以提供恒定的直流应力(电压或电流)。在应力 / 测量模式下,用户可以为被测器件的每个终端设置应力条件(图7)。在每个应力周期之后,4200A-SCS经过一个测量序列,其中可以包括任意数量和类型的用户定义的测试和参数提取。这些参数随时间的退化情况被绘制在应力图中。4200A-SCS的“工具包”体系结构为用户在创建测试序列和压力测量方面提供了巨大的灵活性。

对于关键参数,可以设置一个目标退化值(图7)。一旦该参数的退化超过了目标值,特定的测试将停止。通过消除不必要的压力和测量故障器件上的周期,将会节省了大量的时间。

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图6. 应力循环设置页面

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图7. 器件应力 / 引脚连接 / 退化目标值设置窗口

如果项目中定义了多个DUT,则可以使器件压力设置窗口中的“上一个器件”和“下一个器件”按钮在器件之间进行切换(图7)。“复制”和“粘贴”按钮可以用于将压力设置从一个器件复制到另一个器件中,而不需要在所有输入字段中重新输入所有信息。由于多个器件在不同的应力配置中并行施加应力,因此很难将所需的不同应力的数量和可用于应用它们的SMU的数量联系起来。按下“检查资源”按钮,可以很容易地确定是否有足够的SMU来处理所有涉及的压力,并查看这些SMU是如何分配给每个不同的压力的。如果开关矩阵连接到系统上,并且如果终端上的应力为0V,则默认使用接地单元。

图8a显示了一个单独的数据表(图8a),它可以合并到相应的应力设置窗口中,以保存有关周期指数、应力时间和从应力之间的测量中提取的监测参数的信息,如ID和VT。数据将以Excel文件格式(.xls)自动保存在项目目录中,将数据以文本或Excel文件的形式导出到其他位置。如果系统处于应力 / 测量模式,监测参数相对于预应力测量的退化会自动计算,并可以绘制在图8b中。有关更多压力测量的信息,在Clarius中提供的功能,请查阅完整的4200A-SCS参考手册。

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a)

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b)

图8. a) 应力数据表存储所有应力信息,包括应力期间的测量结果和应力之间测量的选定参数。b) 退化百分比数据作为应力时间函数的图

建立CHC项目

下面的步骤概述了构建CHC项目的典型过程。有关每个步骤的详细信息,请参考完整的4200A-SCS参考手册。

1. 创建项目结构

a. 确定开关矩阵是否可用

b. 确定是否有足够的SMU可用

c. 构建项目结构

2. 在应力之间建立测试

a. 如果使用了开关矩阵,进行开关连接。

b. 使用(ITMs)构建新的测试

c. 使用公式器工具计算器件参数

d. 在合理条件下设置退出

e. 对于监测退化,导出监测的参数值

f. 重复步骤b到步骤e,以监控更多的参数

3. 如果有多个DUT,则重复步骤2。

4. 在子项目中,设置应力条件。

a. 设置压力时间

b. 设置器件应力条件

i. 应力电压

ii. 引脚连接

iii. 目标退化值

iv. 进入下一个器件

5. 运行项目并检查退化数据

参数退化数据和原始测量数据在项目运行期间自动以Excel文件格式保存。因此,即使项目在完成前就停止了,也已经捕获了测量数据。应力之间的原始I-V曲线可以叠加在应力循环上,所以很容易看到I-V是如何作为应力时间的函数而退化的。图9显示了覆盖21个应力循环后的Vgs-Id曲线。

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图9. 多个应力的叠加数据图

图10是一个在晶圆片上测试五个位置的CHC项目的例子。4200A-SCS通过与市场上最常见的半自动探针台兼容的内置驱动程序控制探针台的移动。

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图10. 晶圆级CHC测试的范例

结论

Clarius中增强的应力测量循环可以轻松设置CHC测试。结合交互式测试界面、公式工具和强大的图形功能,Clarius使4200A-SCS成为评估器件可靠性参数的理想工具,如CHC诱导的MOSFETs退化,以及它在器件表征中更广为人知的作用。

参考

[1] JEDEC标准28-A,“Procedure for Measuring N-Channel MOSFET Hot-Carrier-Induced Degradation Under DCStress”,2001。

[2] Vijay Reddy,“An introduction to CMOS semiconductor Reliability”,IRPS教程,2004年。

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健康保险哪家好?人保健康好医保・长期医疗(旗舰版2025)用实力给出答案

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进口煤价格倒挂 或拉动煤价反弹

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杜比第四度入选《Fast Company》“全球最具创新力公司”年度榜单

杜比实验室今日宣布,公司荣登《Fast Company》2026年“全球最具创新力公司”权威榜单。本年度榜单聚焦通过创新成果重塑行业格局与文化生态的领军企业。

3月25号消息,杜比实验室(纽交所代码:DLB)今日宣布,公司荣登《Fast Company》(《快公司》)2026年“全球最具创新力公司”权威榜单。本年度榜单聚焦通过创新成果重塑行业格局与文化生态的领军企业。杜比凭借杜比视界第二代(Dolby Vision 2)在消费电子类目中脱颖而出,这项突破性科技将推动电视画质迈向新纪元,提升观众的内容体验。

杜比实验室全球高级副总裁兼首席营销官陶德鹏(Todd Pendleton)表示:“我们非常荣幸第四次荣获‘全球最具创新力公司’奖项,这印证了杜比始终致力于推动前沿科技创新、为创作者赋能、为观众革新娱乐体验方式的坚定承诺。杜比视界第二代延续了这一愿景,为画质树立新标杆,让全球各地的屏幕能够呈现更栩栩如生、更具沉浸感的故事。”

作为沉浸式娱乐领域的先驱,杜比通过杜比视界和杜比全景声为数十亿台设备提供支持,覆盖电视、家庭影院系统、智能手机、笔记本电脑及汽车等众多领域。在此基础上,杜比视界第二代针对电视观看体验长期存在的痛点进一步升级——无论是画面过暗的困扰,还是消除抖动或肥皂剧效应以实现更具影院感的体验。凭借杜比新一代图像引擎(Image Engine)、内容智能(Content Intelligence)与真实动态(Authentic Motion)等创新,杜比视界第二代助力创作者打造更栩栩如生、精准细腻且富有情感张力的叙事体验。

杜比视界第二代的行业影响力持续扩大。自从在IFA 2025展会首次亮相以来,三个全球领先的电视品牌——海信、TCL和TP Vision均已宣布支持该技术,为全球更多屏幕带来新一代杜比视界画质。在内容领域,Peakcock和CANAL+正积极推进对这一技术的采用,进一步巩固杜比在定义电影、流媒体及体育直播等优质娱乐体验的未来的行业地位。

“全球最具创新力公司”是《Fast Company》的标志性榜单,也是其年度最受瞩目的内容之一。为确定入选企业,《Fast Company》的编辑与记者团队对全球各行业推动变革的企业进行调研,通过竞争性申报流程评估数千份参评资料,最终形成涵盖初创企业至全球一些最具价值公司的全球性创新指南。

《Fast Company》主编Brendan Vaughan表示:“我们的‘最具创新力公司’榜单旨在表彰那些不仅适应变化、更主动引领变革的机构。本年度入选企业重新定义了2026年的领导力内涵,将大胆构想与切实影响力相结合,将突破性创新转化为实际价值。他们为所在行业确立发展节奏,为可持续创新提供实践范本。”

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河北赞皇县5MW分散式风电项目全容量并网发电

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合肥首个“彩色路口”惊艳亮相 人车“各行其道”通行更安全高效

  近日,合肥市创新大道与云飞路交叉口经过精细化交通改造后惊艳亮相,成为全市首个引人注目的“彩色路口”。这条由红、黄、蓝、白多种颜色构成的交叉口,并非只为美观,更是合肥公安交管部门为提升道路安全与效率而实施的创新之举。

  据了解,此次改造是合肥公安交管部门经过多次调研,结合路口实际通行条件、交通流量及管理需求后量身打造的专项方案。通过一系列组合措施,旨在明确行人、非机动车和机动车的路权,有效规范通行秩序。

  记者在现场看到,路口最显著的变化是三色导流区的设置。通过前移停车线并施划黄、绿、蓝三色等候区与导流线,不仅清晰界定了不同车辆的行驶轨迹,更有效缩短了过街距离,使通行效率得到提升。以往“拥堵混乱”的等红灯场景,已转变为“有序畅通”的通行体验。

  针对右转机动车与非机动车易发生碰撞的风险,路口右转危险区新装了一排红白相间的柔性防撞柱,构筑起一个视觉清晰的“安全岛”。这一设施不仅能提醒车辆减速,更通过物理分离确保了双方驾驶人的视野,有效避免事故。这些柔柱在夜间具备反光功能,进一步增强了警示效果。

  此外,路口还特别为自行车和电动车施划了专用的左转通道与地面箭头,像一幅地面“路线图”,引导非机动车一次完成顺滑左转,实现与机动车的分道行驶。同时,新设置的非机动车专属信号灯,其上清晰的自行车标识,进一步保障了骑行者的路权与安全。

  对于此次改造效果,合肥市公安局交管支队高新大队一中队中队长赵越表示:“这次改造非常直观,现在行人、非机动车和机动车怎么停、怎么行,都清晰明了。人车路权清晰后,真正实现了‘各行其道’,路口事故率也因此显著下降。”

  这座“彩色路口”的启用,是合肥在城市交通精细化管理上的一次成功探索,为市民营造了更为安全、有序、高效的出行环境。(张毅璞)

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MOSFET热载流子效应退化测试解析

前言

在现代ULSI电路中沟道热载流子 (CHC) 诱导的退化是一个重要的与可靠性相关的问题。载流子在通过MOSFET通道的大电场加速时获得动能。当大多数载流子到达漏极时,热载流子(动能非常高的载流子)由于原子能级碰撞的冲击电离,可以在漏极附近产生电子—空穴对。其他的可以注入栅极通道界面,打破Si-H键,增加界面态密度。CHC的影响是器件参数的时间相关的退化,如VT、IDLIN和IDSAT。

这种通道热载流子诱导的退化(也称为HCI或热载流子注入)在NMOS和PMOS器件上都可以看到,并会影响所有区域的器件参数,如VT、亚阈值斜率、Id-on、Id-off、Ig等。每个参数随应力时间的退化速率取决于器件的布局和所使用的工艺。

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图1. 通道热载流子退化

CHC退化测试的过程

一个典型的通道热载流子测试过程包括一个被测试器件(DUT)的初始化表征,然后是一个应力和测量循环[1](图2)。在这个循环中,器件承受的电压高于正常工作电压的压力。器件参数包括IDLIN、IDSAT、VT、Gm等,在应力之间进行监测,并将这些参数的退化绘制为累积应力时间的函数。在进行此应力和测量循环之前,将测量同一组器件参数作为基线值。

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图2. 典型的CHC测试过程

应力条件是基于最坏情况下的退化条件,这对于NMOS和PMOSFET是不同的。通常,对于漏极电压应力,它应小于源极漏极击穿电压的90%。然后,在漏极应力电压下,栅极应力电压因晶体管类型和栅极长度而不同。表1显示了使用不同技术[2]创建的NMOS和PMOSFET的最坏情况退化条件。

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表1. NMOS和PMOS FETs的最坏情况应力条件

使用4200A-SCS半导体表征系统上的ITM可以很容易地确定最坏情况下的应力条件。

器件连接

在单个晶体管上执行CHC测试很容易。然而,每个CHC测试通常需要很长时间才能完成,所以希望有许多dut并行施加压力,然后在应力之间按顺序进行表征,以节省时间。为了实现这一点,需要一个开关矩阵来处理并行应力和应力之间的顺序测量。图3显示了针对多个DUT的典CHC测试的硬件配置。4200A-SCS提供了应力电压和测量能力,而开关矩阵支持并行应力和多个器件的顺序测量。

根据被测试器件的数量,使用可容纳一个矩阵开关(12个器件引脚)的708主机,或者使用最多6个矩阵开关(最多72个引脚)的707主机。不同栅极和漏极应力值的总数受到系统中SMU数量的限制。图4说明了使用8个SMU(总共8个不同的漏极和栅极应力偏差)加上一个接地单元(接地端子)并联20个晶体管对器件进行压力测试的连接图。

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图3. 硬件配置连线图

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图4. 使用8个SMU并行施加压力20个器件的示例。公共端子使用单独的接地单元(GNDU)。

确定器件参数

被监测的热载流子参数包括VTH、GM、IDLIN和 IDSAT。这些参数在应力之前首先测量,并在每个累积应力时间后重新测量。IDLIN是器件在线性区域测量漏极电流,而IDSAT是器件在饱和区域测量漏极电流。VTH和GM可以用恒流法或内插 / 外插法来确定。在内插 / 外插法中,VTH是由IDS- VDS曲线的最大斜率来确定。

4200A-SCS的公式编辑器工具大大简化了这些参数的提取。内置函数包括微分获得GM,MAX函数获得最大的GM(Gmext),以及最小二乘线拟合函数提取 VTH(Vtext)。计算这些参数的公式可以在4200A-SCS提供的HCI项目中找到,并在测试库中的相应的测试中找到。这些公式的一些例子包括:

GM = DIFF(DRAINI,GATEV)

GMEXT = MAX(GM)

VTEXT = TANFITXINT(GATEV,DRAINI,MAXPOS(GM))

最后一个公式(VTEXT)是ID-VG曲线在最大GM点处的切线拟合的x截距。图5说明了公式编辑器的界面。

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图5. 4200A-SCS的公式编辑器界面

一旦这些参数从各个测试中计算出来,它们就可以通过选中“输出值”选项中的复选框来导出,以监测应力时间的退化。对于每个测试,都可以选择退出选项,允许系统跳过该器件,或者在器件出现故障时停止整个CHC测试。有关这些选项的更多详细信息,请参阅完整的4200A-SCS参考手册。

设置应力条件

在4200A-SCS软件的吉时利Clarius版本中增强的功能之一是项目树结构中可以增加一个应力循环,可以施加电压和电流应力。用户可以利用应力循环在预设时间上设置直流应力。每个周期的应力时间可以以线性或对数的方式进行设置(见图6)。该特性用于 CHC/HCI、NBTI、EM(电迁移率)和电荷捕获应用,以提供恒定的直流应力(电压或电流)。在应力 / 测量模式下,用户可以为被测器件的每个终端设置应力条件(图7)。在每个应力周期之后,4200A-SCS经过一个测量序列,其中可以包括任意数量和类型的用户定义的测试和参数提取。这些参数随时间的退化情况被绘制在应力图中。4200A-SCS的“工具包”体系结构为用户在创建测试序列和压力测量方面提供了巨大的灵活性。

对于关键参数,可以设置一个目标退化值(图7)。一旦该参数的退化超过了目标值,特定的测试将停止。通过消除不必要的压力和测量故障器件上的周期,将会节省了大量的时间。

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图6. 应力循环设置页面

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图7. 器件应力 / 引脚连接 / 退化目标值设置窗口

如果项目中定义了多个DUT,则可以使器件压力设置窗口中的“上一个器件”和“下一个器件”按钮在器件之间进行切换(图7)。“复制”和“粘贴”按钮可以用于将压力设置从一个器件复制到另一个器件中,而不需要在所有输入字段中重新输入所有信息。由于多个器件在不同的应力配置中并行施加应力,因此很难将所需的不同应力的数量和可用于应用它们的SMU的数量联系起来。按下“检查资源”按钮,可以很容易地确定是否有足够的SMU来处理所有涉及的压力,并查看这些SMU是如何分配给每个不同的压力的。如果开关矩阵连接到系统上,并且如果终端上的应力为0V,则默认使用接地单元。

图8a显示了一个单独的数据表(图8a),它可以合并到相应的应力设置窗口中,以保存有关周期指数、应力时间和从应力之间的测量中提取的监测参数的信息,如ID和VT。数据将以Excel文件格式(.xls)自动保存在项目目录中,将数据以文本或Excel文件的形式导出到其他位置。如果系统处于应力 / 测量模式,监测参数相对于预应力测量的退化会自动计算,并可以绘制在图8b中。有关更多压力测量的信息,在Clarius中提供的功能,请查阅完整的4200A-SCS参考手册。

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a)

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b)

图8. a) 应力数据表存储所有应力信息,包括应力期间的测量结果和应力之间测量的选定参数。b) 退化百分比数据作为应力时间函数的图

建立CHC项目

下面的步骤概述了构建CHC项目的典型过程。有关每个步骤的详细信息,请参考完整的4200A-SCS参考手册。

1. 创建项目结构

a. 确定开关矩阵是否可用

b. 确定是否有足够的SMU可用

c. 构建项目结构

2. 在应力之间建立测试

a. 如果使用了开关矩阵,进行开关连接。

b. 使用(ITMs)构建新的测试

c. 使用公式器工具计算器件参数

d. 在合理条件下设置退出

e. 对于监测退化,导出监测的参数值

f. 重复步骤b到步骤e,以监控更多的参数

3. 如果有多个DUT,则重复步骤2。

4. 在子项目中,设置应力条件。

a. 设置压力时间

b. 设置器件应力条件

i. 应力电压

ii. 引脚连接

iii. 目标退化值

iv. 进入下一个器件

5. 运行项目并检查退化数据

参数退化数据和原始测量数据在项目运行期间自动以Excel文件格式保存。因此,即使项目在完成前就停止了,也已经捕获了测量数据。应力之间的原始I-V曲线可以叠加在应力循环上,所以很容易看到I-V是如何作为应力时间的函数而退化的。图9显示了覆盖21个应力循环后的Vgs-Id曲线。

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图9. 多个应力的叠加数据图

图10是一个在晶圆片上测试五个位置的CHC项目的例子。4200A-SCS通过与市场上最常见的半自动探针台兼容的内置驱动程序控制探针台的移动。

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图10. 晶圆级CHC测试的范例

结论

Clarius中增强的应力测量循环可以轻松设置CHC测试。结合交互式测试界面、公式工具和强大的图形功能,Clarius使4200A-SCS成为评估器件可靠性参数的理想工具,如CHC诱导的MOSFETs退化,以及它在器件表征中更广为人知的作用。

参考

[1] JEDEC标准28-A,“Procedure for Measuring N-Channel MOSFET Hot-Carrier-Induced Degradation Under DCStress”,2001。

[2] Vijay Reddy,“An introduction to CMOS semiconductor Reliability”,IRPS教程,2004年。

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